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無塵室等級分類及應用標準


無塵室施工不同于普通生產車間,無塵室潔凈等級100-30萬級,不同等級的施工標準也不一樣。無塵室的適用范圍很廣,只要潔凈要求比較高的都會用到。今天小編就來為大家講述一下無塵室等級分類及應用標準。

  

一、無塵室的等級

  

無塵室分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級,如果無塵室的等級只用塵粒數目來敘述,則可假設塵粒的尺寸是0.5um,無塵室等級應以特定塵粒尺寸的級數來表示。

  

二、無塵室標準分類

  

1.亂流式


空氣由空調箱經風管與無塵車間內的空氣過濾器(HEPA)進入無塵室,并由無塵車間兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動呈不規則之亂流或渦流狀態。此型式適用于無塵室等級為1,000-100,000級的。

  

優點:構造簡單、系統建造成本低,無塵室擴充比較容易,在某些特殊用途場所可并用無塵工作臺,提高無塵車間等級。

  

缺點:亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出,易污染產品。另外若系統停止運轉再激活,欲達要求的潔凈度,需耗時相當長一段時間。

  

2.層流式

  

層流式空氣氣流運動成均勻的直線形,空氣由覆蓋率100%的過濾器進入室內,并由高架地板或兩側隔墻板回風,此型式適用于無塵室等級需求較高的環境使用,一般其無塵室等級為Class 1~100。

  

3.復合式

  

復合式是將亂流式及層流式予以復合并用,可提供局部超潔凈空氣。

  

●無塵車間潔凈隧道:以HEPA或ULPA過濾器將生產區域或工作區域100%覆蓋使潔凈度等級提高至10級以上,可節省安裝運轉費用。此型式需將作業人員的工作區與產品和機器維修予以隔離,以避免機器維修時影響了工作及品質,超大規模集成電路生產大都采用此種型式。

  

潔凈隧道另有二項優點:彈性擴充容易、維修設備時可在維修區輕易執行。

  

●無塵車間潔凈管道:將產品流程經過的自動生產線包圍并凈化處理,將潔凈度等級提至100級以上。因產品和作業員及發塵環境相互隔離,少量的送風即可得到良好的潔凈度,可節省能源,不需人工的自動化生產線最適宜使用。藥品、食品及半導體均適用。

  

●無塵車間并裝局部無塵室:將亂流無塵室內的產品生產區的潔凈度等級提高為10~1000級以上,為生產用。

  

三、無塵室的應用標準

  

想檢驗無塵室是否達到應用標準,大家可以先從遮蔽率;風速、溫濕度;壓差、構成要求這四個方面考慮:

  

1.風速、溫濕度

氣流速度為:0.3-0.5m/s(60-100ft/min)一般溫度控制范圍:T=(21±2)℃一般濕度控制范圍:(45±5)%RH

  

2.壓差

在兩個無塵室間合理的設計壓力差應為10Pa,而在無塵室和未確認潔凈等級的區域應保持有15Pa的壓力差。當產生這些壓力差有實際困難時,維持5Pa的最小壓力差是可以接受的。

  

3.構成要求

A.不會因溫度變化與振動而發生裂痕

B.不易產生微塵粒子,且很難附著粒子

C.吸濕性小

D.為了維持室內之濕度條件,熱絕緣性要高。 


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